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硅片承载器转换架

  • 申请号：CN201310167814.X 申请公布号： CN103258765B
  • 申请日： 2013-05-09 申请公布日： 2016-06-01
  • 申请（专利权）人：北京市塑料研究所 专利代理机构： -
  • 分类号：H01L21/673(2006.01)I

专利介绍

一种硅片承载器转换架,其具有以下结构:一个顶部框架和一个底部框架,其中顶部框架具有相对立的两个带有台阶的边沿,底部框架具有若干对平行排列的内固定棱和外固定棱以及向着左侧开口的U型棱,所述棱之间相互隔开一段距离;一个位于左侧的挡板;一个位于右侧的U型框架。

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